一种航空发动机叶片气膜微细孔超精密加工装置，它涉及微孔加工技术领域。它包括：机架；设于所述机架上的升降装置；装配于所述升降装置上的、用于对工件进行微孔加工的微刀具；套设于所述微刀具上的、用于将微孔中加工屑引导排出及微孔壁精密研磨的微电极膜套；承载于所述机架上且设于所述微刀具下方的、供工件放置的载物台；设于所述载物台下方的电磁引导装置；以及，设于所述机架上的、供所述电磁引导装置承载的、用于驱动所述电磁引导装置沿微孔设计方向对所述微刀具的等离子起引导作用的五轴机床。采用上述技术方案通过微电极膜套能够对微孔起导屑和精密研磨作用，具有确保微孔加工精度、提高微孔加工深度及微孔光洁度的优势。