真空贴膜机
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空贴膜机，其包括机壳以及设置于所述机壳内上部的真空腔体，在机壳上设置能与真空腔体适配连接的腔盖；在真空腔体内设置用于支撑待贴膜晶圆的晶圆托盘，在真空腔体内还设置用于支撑膜的晶圆框架，所述晶圆框架位于晶圆托盘的上方；在机壳内还设置能驱动晶圆托盘升降的托盘升降驱动机构，真空腔体内处于所需的真空状态时，通过托盘升降驱动机构驱动晶圆托盘向靠近晶圆框架的方向运动，能使得晶圆与膜接触，且托盘升降驱动机构驱动晶圆托盘后能将接触后的晶圆、膜压紧在腔盖上。本实用新型结构紧凑，能有效将膜贴在晶圆上，避免贴膜过程中产生气泡，使用方便，安全可靠。
基本信息
专利标题 ：
真空贴膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920681939.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-14
授权号 ：
CN209903937U
授权日 ：
2020-01-07
发明人 ：
王云翔冒薇段仲伟马冬月许爱玲李晓帅
申请人 ：
苏州美图半导体技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区星湖街218号生物纳米园A7-506
代理机构 ：
南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
苗建
优先权 ：
CN201920681939.7
主分类号 ：
B29C63/02
IPC分类号 ：
B29C63/02 B29C63/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B29
塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工
B29C
塑料的成型连接；塑性状态材或料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整
B29C63/00
镶衬或加护套，即应用预制的薄层或塑料护套；所用的设备
B29C63/02
使用片材或条状材料
法律状态
2020-01-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
