晶圆夹盘的清洗装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种晶圆夹盘的清洗装置，包括喷洗管道和喷嘴，所述喷洗管道外部设置有第一加热器，所述喷洗管道中通入含异丙醇的第一混合气体，所述第一混合气体经所述第一加热器加热后由所述喷嘴喷向晶圆夹盘。通过第一加热器加热含异丙醇的第一混合气体喷射晶圆夹盘，对晶圆夹盘进行干燥，缩短了晶圆夹盘的清洗时间，提升了晶圆夹盘表面的干燥效果，避免因干燥不完全在夹持过程中在晶圆上产生水痕缺陷，进而提升了晶圆产品良率。
基本信息
专利标题 ：
晶圆夹盘的清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920706822.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-16
授权号 ：
CN210010247U
授权日 ：
2020-02-04
发明人 ：
刘璞方高英哲张文福李丹
申请人 ：
德淮半导体有限公司
申请人地址 ：
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201920706822.X
主分类号 ：
B08B3/08
IPC分类号 ：
B08B3/08 B08B13/00 F26B21/14
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-02-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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