机械手自动粘钉机

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摘要

本实用新型涉及半导体石英制品加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种机械手自动粘钉机，可自动进行粘钉，强度好且精度高，提高工作效率；包括机械手自动粘钉机，包括机架、石英灯和控制箱，机架上设置有机械手臂、定位石墨盘驱动装置、石英钉载物台、石英灯伸缩机构和控制面板，机械手臂上设置有石英钉石墨卡头，定位石墨盘驱动装置上设置有定位石墨盘，定位石墨盘上设置有石英片锁紧装置，石英灯安装在石英灯伸缩机构上。

基本信息

专利标题：

机械手自动粘钉机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920706967.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-17

授权号：

CN209859915U

授权日：

2019-12-27

发明人：

吕辉强

申请人：

沈阳汉科半导体材料有限公司

申请人地址：

辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区昆明湖街20号

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920706967.X

主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H01L21/02