槽棒自动粘钉机器人
授权
摘要
本实用新型涉及半导体石英制品加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种槽棒自动粘钉机器人，强度好，精度高、产品合格率高、节省人工成本；包括机体，机体前部设置有机械手臂，机体后部设置有工作台驱动装置，机体中部设置有石英钉载物台，工作台驱动装置上设置有工作台板，工作台板上设置有石墨卡具，石墨卡具上设置有石英棒锁紧装置，机体后部中央区域设置有石英灯运转装置，石英灯运转装置上设置有石英灯本体，机械手臂上设置有石英钉石墨卡头。
基本信息
专利标题 ：
槽棒自动粘钉机器人
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022332880.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN213570136U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
吕辉强
申请人 ：
沈阳汉科半导体材料有限公司
申请人地址 ：
辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区昆明湖街20号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022332880.6
主分类号 ：
C03B20/00
IPC分类号 ：
C03B20/00 C03B23/20
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03B
玻璃、矿物或渣棉的制造、成型；玻璃、矿物或渣棉的制造或成型的辅助工艺
C03B20/00
生产石英或熔凝硅石制品的专用方法
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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