一种新型高温电阻加热的HVPE加热器
授权
摘要
本实用新型提供一种新型高温电阻加热的HVPE加热器，包括上机柜、中机柜、下机柜以及真空加热腔体，所述真空加热腔体安装在中机柜内，所述真空加热腔体下端面安装腔体下盖，所述腔体下盖下端面安装下升降机构，所述下升降机构安装在下机柜内，所述腔体下盖上端面安装高温加热器一，所述高温加热器一内安装源坩埚，所述真空加热腔体上端面安装腔体上盖，且真空加热腔体内部上侧安装高温加热器二，所述腔体上盖上端面安装上升降机构，所述上升降机构安装在上机柜内，所述腔体上盖上端面安装内衬管，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：提高化合物半导体如GaN或AlN等的工艺研发的温度范围，降低了研发及生产的局限性。
基本信息
专利标题 ：
一种新型高温电阻加热的HVPE加热器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920715002.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-19
授权号 ：
CN210075613U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
刘洋
申请人 ：
青岛华旗科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区流亭街道双元路西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920715002.7
主分类号 ：
H05B3/02
IPC分类号 ：
H05B3/02 H05B3/03
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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