气动波纹管驱动超精密二维定位平台
授权
摘要
本实用新型属于超精密机械技术领域，涉及一种超精密定位平台。超精密二维定位平台，包括气动伺服定位平台；所述的气动伺服定位平台包括气浮导轨、波纹管、支撑系统、载物台、气源；所述的支撑系统包括互相垂直的X轴支撑架Y轴支撑架；所述气浮导轨安装在支撑系统上；所述波纹管与气浮导轨连接，用于驱动气浮导轨在两个自由度X、Y方向上位移；所述载物台安装在所述气浮导轨上；所述波纹管和气浮导轨与气源连接。本实用新型的气动波纹管驱动超精密二维定位平台，平台两个自由度X，Y方向上的位移，都是由电气比例阀通过控制波纹管的伸缩，驱动气浮导轨来实现的。相比现有技术，本实用新型的平台结构精简，能够实现平台的二维超精密定位。
基本信息
专利标题 ：
气动波纹管驱动超精密二维定位平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920723064.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-20
授权号 ：
CN209936863U
授权日 ：
2020-01-14
发明人 ：
田艳兵徐亚明魏巍祝景洋徐启航杜隆坤
申请人 ：
青岛理工大学
申请人地址 ：
山东省青岛市市北区抚顺路11号
代理机构 ：
青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
马千会
优先权 ：
CN201920723064.2
主分类号 ：
B25H1/14
IPC分类号 ：
B25H1/14
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25H
车间设备，例如用于工件划线；车间储存设备
B25H1/00
工作台；用于放置轻便工具或工件的轻便台座或支架，在台座或支架上操作工作
B25H1/14
有调节台顶的装置
法律状态
2020-01-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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