双背脊电容式MEMS差压传感器

专利申请权、专利权的转移

摘要

本实用新型提供一种双背脊电容式MEMS差压传感器，双背脊电容式MEMS，所述双背脊电容式MEMS包括基底、设置在所述基底上方的下背脊、敏感膜和上背脊，在所述上背脊和所述下背脊上均设置有透气孔，其中，所述敏感膜设置所述上背脊和所述下背脊之间，所述上背脊和所述下背脊用于支撑固定所述敏感膜，其中，所述上背脊、所述敏感膜和所述下背脊形成方向相反的两个敏感电容。利用本用新型，能够解决传统的电容式差压传感器的MEMS有灵敏度低的问题。

基本信息

专利标题：

双背脊电容式MEMS差压传感器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920737844.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-21

授权号：

CN210071211U

授权日：

2020-02-14

发明人：

闫文明

申请人：

歌尔科技有限公司

申请人地址：

山东省青岛市崂山区北宅街道投资服务中心308室

代理机构：

北京鸿元知识产权代理有限公司

代理人：

袁文婷

优先权：

CN201920737844.2

主分类号：

G01L13/06

IPC分类号：

G01L13/06 G01L9/12