压差式传感器、制备方法及其应用，采用三层硅片键合的方式，上、中层结构均采用SOI晶圆，下层结构采用图形化掺杂的本征硅晶圆；所述电极的引线焊盘均位于传感器一侧的三阶台阶上；在上下电极周围开接近于环状的通孔。本发明的传感器上通过延长固定电容部分电场线的路径，减少了上电容输出电容信号中的固定电容量；下层结构采用本征硅，只有下层电极及引线部分进行了掺杂，可以导电。通过拾取两个电容的变化量，实现两个不同腔体内流体压力差的测量；传感器输出灵敏度、分辨率、线性度均有所提升；传感器的外部引线焊点布置在三层台阶处，外部电路在三层台阶处与传感器引线，实现电连接，方便传感器的集成与封装。