微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
本发明涉及一种微小极间距的电容式力敏传感器以及其制造方法，属物理测量仪器技术领域。传感器由膜片，边框、定极板、可动极板和支架等各部分组成。采用熔封玻璃或其它粘结材料按需要把传感电容两极板精确固定在几微米到几十微米的距离上。传感器正常工作时，熔封玻璃或其它粘结材料不额外受力，没有应变，因而对传感器的工作没有任何影响。利用本发明的方法，可以制出多种体积小、灵敏度高、迟滞小、量程宽、温漂小的电容式力敏传感器。
基本信息
专利标题 ：
微小极间距电容式力敏传感器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1084636A
申请号 ：
CN93118056.2
公开（公告）日 ：
1994-03-30
申请日 ：
1993-10-09
授权号 ：
CN1042858C
授权日 ：
1999-04-07
发明人 ：
胡耿
申请人 ：
胡耿
申请人地址 ：
100084北京市海淀区清华大学微电子所
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN93118056.2
主分类号 ：
G01L1/14
IPC分类号 ：
G01L1/14
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/14
通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化
法律状态
2004-12-08 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1999-04-07 ：
授权
1999-02-17 ：
地址不详通知
收件人 : 胡耿
文件名称 : 授权通知书 办理登记手续通知书
文件名称 : 授权通知书 办理登记手续通知书
1994-03-30 ：
公开
1994-03-16 ：
实质审查请求的生效
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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