清洁液循环利用的清洗系统

授权

摘要

本实用新型实施例涉及清洗技术领域，公开了一种清洁液循环利用的清洗系统，所述清洁液循环利用的清洗系统包括：用于放置清洗物的清洁腔室，与所述清洁腔室连通的废液循环处理装置，分别与所述清洁腔室及所述废液循环处理装置连通的清洁液配置装置；所述废液循环处理装置用于回收所述清洁腔室中流出的废液、并将所述废液加工成满足预设要求的待配置清洁液；所述清洁液配置装置用于将所述待配置清洁液配置成待使用清洁液；所述清洁腔室用于使用所述待使用清洁液以清洗待清洗物。本实用新型提供的清洁液循环利用的清洗系统能够循环利用清洁液，降低清洗成本。

基本信息

专利标题：

清洁液循环利用的清洗系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920739325.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-16

授权号：

CN210059190U

授权日：

2020-02-14

发明人：

胡自立

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室

代理机构：

上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

成丽杰

优先权：

CN201920739325.X

主分类号：

B08B3/14

IPC分类号：

B08B3/14 H01L21/02 H01L21/67