一种应用于扩渗炉上的内冷却系统腔体
授权
摘要
本实用新型提供一种应用于扩渗炉上的内冷却系统腔体，包括机柜、传动系统、加热体骨架、真空反应腔、双层水冷腔体、高效热交换器、热交换器支撑架、冷却风机，双层水冷风机法兰中间设置有腔体法兰密封圈，二者通过螺栓连接，进水嘴和出水嘴分别连接有进水管和出水管；双层水冷腔体内部安装热交换器支撑架，本实用新型具有如下的有益效果：通过增加双层水冷腔体能更加提高冷却效率，冷却水经过双层水冷腔体时能带走大量的热量，使工艺腔内降温速率更快，同时延长冷却系统腔体的使用寿命、提高安全性能；结构紧凑，减小空隙，使设备占用空间减小，拓展了设备的适用范围。
基本信息
专利标题 ：
一种应用于扩渗炉上的内冷却系统腔体
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920746034.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-23
授权号 ：
CN210065892U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
刘洋
申请人 ：
青岛华旗科技有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区流亭街道双元路西
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920746034.3
主分类号 ：
C23C10/00
IPC分类号 ：
C23C10/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C10/00
金属材料表面中仅渗入金属元素或硅的固渗
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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