一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统
授权
摘要

一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统,其包括包括分子泵、罗茨泵、旋片泵、连通分子泵和真空扩渗炉的第一挡板阀、连通分子泵和罗茨泵的主管道、设置在主管道上的第三挡板阀和第二真空规、连通真空扩渗炉和罗茨泵的过渡管道、设置在过渡管道上的第二挡板阀、连通罗茨泵和旋片泵的第四挡板阀以及用于测量真空扩渗炉内真空度的第一真空规和第三真空规,整个启动过程通过分级启动的方式提高提升真空扩渗炉内真空度的速率。

基本信息
专利标题 :
一种应用于钕铁硼真空扩渗炉的抽真空系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021648995.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-10
授权号 :
CN212476862U
授权日 :
2021-02-05
发明人 :
张永军
申请人 :
北京北方华创磁电科技有限公司
申请人地址 :
北京市平谷区马坊工业园区西区247号
代理机构 :
北京维正专利代理有限公司
代理人 :
赵万凯
优先权 :
CN202021648995.X
主分类号 :
C23C10/00
IPC分类号 :
C23C10/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C10/00
金属材料表面中仅渗入金属元素或硅的固渗
法律状态
2021-02-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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