提供一种电润湿光学装置。所述电润湿光学装置包括第一窗口、第二窗口、和设置在所述第一窗口和所述第二窗口之间的腔。所述电润湿光学装置额外地包括设置在所述腔内的第一液体和第二液体，所述第一液体和所述第二液体实质上彼此不混溶且具有不同的折射率，从而所述第一液体和所述第二液体之间的界面限定可变透镜。所述电润湿光学装置还包括与所述第一液体电连接的公共电极和设置在所述腔的侧壁上、且通过绝缘聚合物介电层与所述第一液体和所述第二液体绝缘的驱动电极。所述绝缘聚合物介电层可利用引发式化学气相沉积(iCVD)形成。