应用于清洗机台的防静电输送带
授权
摘要
本实用新型为一种应用于清洗机台的防静电输送带，包括一机台；一传输装置设置于该机台中，其依序包括有一进料区、一输送区、一清洗区、一除水区、一出料区及一输送带，该输送带是防静电材料所构成；一罩体具有位于该清洗区内的一闸门装置，该清洗区的该输入侧及该输出侧都设有可伸入于该传输装置下方的一挡门；一压制装置抵持于该复数半导体一侧表面上且设置于该罩体中并设置于该传输装置上方，该压制装置的设置区域自该输送区延伸至该除水区的区间；一清洗装置能够清洗该复数半导体表面，并位于该清洗区间；一除水与降温装置设置于该机台的该除水区中，来达到消弭半导体于清洗风干过程所产生静电破坏的目的。
基本信息
专利标题 ：
应用于清洗机台的防静电输送带
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920753192.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-23
授权号 ：
CN210136859U
授权日 ：
2020-03-10
发明人 ：
李荣发
申请人 ：
扬发实业有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新北市
代理机构 ：
北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
孙皓晨
优先权 ：
CN201920753192.1
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67 H05F3/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-03-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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