一种基于T型气浮导轨的运动平台

专利权的终止

摘要

本实用新型提供了一种基于T型气浮导轨的运动平台，包括：隔震基台，隔震基台设置有第一X向导轨基座和第二X向导轨基座，Y向导轨基座沿Y向固定在第一X向导轨基座和第二X向导轨基座之间，Y向侧边导轨贴合设置在Y向导轨基座的前后外侧端面上，Y向侧边导轨上安装有真空预压气浮件，Y向工作台固定在Y向侧边导轨顶部；第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨分别贴合设置在第一X向导轨基座的左右两侧，X向工作台固定在第一X向侧边导轨和第二X向侧边导轨顶部。本基于T型气浮导轨的运动平台，通过将X、Y方向运动模块位于同一基准平面上，保证X、Y方向运动平面基准的统一，避免倾斜力矩的产生，提高运行精度。

基本信息

专利标题：

一种基于T型气浮导轨的运动平台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920767690.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-05-27

授权号：

CN209998755U

授权日：

2020-01-31

发明人：

刘永忠

申请人：

广州本森咨询服务有限公司

申请人地址：

广东省广州市番禺区市桥街环城中路63、65、67、69号梅山大厦3楼整套

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201920767690.1

主分类号：

B23Q1/38

IPC分类号：

B23Q1/38 B25H1/14