扩散炉送料机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种扩散炉送料机构，包括水平滑轨组件、推拉舟组件以及，隔热挡板。水平滑轨组件包括水平轨道，以及在水平轨道上近扩散炉的炉口处设有的行程开关；推拉舟组件包括适于与水平轨道滑动相接的推拉舟，以及与推拉舟固连的用于支承晶体的且适于部分地伸入至扩散炉内的水平悬臂；在推拉舟上设有适于触发行程开关的触发件；隔热挡板位于行程开关的上方且一端与水平轨道铰接；隔热挡板适于在水平悬臂与行程开关之间形成隔挡。本实用新型的扩散炉送料机构通过设计的隔热挡板可有效避免行程开关因为高温晶体而受损，从而延长行程开关的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
扩散炉送料机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920779654.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-24
授权号 ：
CN209691729U
授权日 ：
2019-11-26
发明人 ：
贾峻峰郭锐周晰
申请人 ：
常州银河世纪微电子股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市新北区长江北路19号
代理机构 ：
常州市科谊专利代理事务所
代理人 ：
言倩玉
优先权 ：
CN201920779654.7
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 C30B31/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2019-11-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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