一种扩散炉用送料装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种扩散炉用送料装置，包括送料电机、送料螺杆、送料滑座、送料导轨；送料螺杆的一端与送料电机的转轴端部进行同轴固定连接；送料滑座的中部螺纹孔与送料螺杆进行螺纹连接；送料滑座的侧面与送料导轨进行沿送料螺杆轴向方向的滑动连接；送料滑座的上部设置有用来夹持硅片的夹头；夹头包括呈U型结构的调节座、水平夹持板、夹持柱、调节件；调节座中竖直板的外端面通过L型支架与送料滑座的顶端固定连接；L型支架上设置有能够封堵炉口的封堵板。本实用新型当夹持有硅片的夹头通过炉口进入到炉体内时，L型支架上的封堵板会将炉口封闭。因此，本申请在将硅片送至炉体内的同时具有关闭炉体炉口的功能。
基本信息
专利标题 ：
一种扩散炉用送料装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022389337.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-24
授权号 ：
CN213273775U
授权日 ：
2021-05-25
发明人 ：
牛新海李志坤
申请人 ：
青岛微弘设备技术有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市城阳区城阳街道前桃林社区居委会南800米
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022389337.X
主分类号 ：
F27D3/00
IPC分类号 ：
F27D3/00 H01L21/677
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D3/00
装料；卸料；炉料控制
法律状态
2021-05-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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