扩散炉以及扩散炉的石英盖的监控装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种扩散炉以及扩散炉的石英盖的监控装置，其中，扩散炉包括炉管控制器，石英盖上设有一磨砂条，监控装置包括红外探测器和继电器；红外探测器固设在扩散炉的隔板上，并且当石英盖盖上时红外探测器位于磨砂条的正上方；继电器用于为红外探测器供电，红外探测器用于向正下方发出红外信号，并将用于表征红外探测结果的输出信号发送至继电器，继电器用于将红外探测器的输出信号升压后发送至炉管控制器。本实用新型通过红外探测器向石英盖盖上时磨砂条的所处位置发射红外信号，然后根据红外信号的反射情况可以确定石英盖是否盖上，从而能够自动监控扩散炉的石英盖是否正确盖上，检测效率高，避免漏检忘检。
基本信息
专利标题 ：
扩散炉以及扩散炉的石英盖的监控装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020559218.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-15
授权号 ：
CN212058294U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
晁磊陈崇山沈震
申请人 ：
上海先进半导体制造有限公司
申请人地址 ：
上海市徐汇区虹漕路385号
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN202020559218.1
主分类号 ：
F27D1/18
IPC分类号 ：
F27D1/18 F27D21/00 F27D21/04 H01L21/22
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D1/00
外壳；衬炉；壁；炉顶
F27D1/18
门框；门、盖、活动盖板
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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