一种扩散石英舟

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摘要

本实用新型公开了一种扩散石英舟，包括左支撑块、右支撑块、底固定杆、后上连接滑动杆和前上连接滑动杆；左支撑块的上半部与右支撑块的上半部均设置有相对应的轨道，前上连接滑动杆穿过两个轨道，以使前上连接滑动杆沿轨道的轴线滑动；左支撑块和右支撑块通过第一锁紧件与前上连接滑动杆固定连接；前上连接滑动杆与后上连接滑动杆之间通过定位件以固定前上连接滑动杆与后上连接滑动杆之间的相对位置。在使用扩散石英舟之前，可以通过将前上连接滑动杆在轨道内滑动以改变扩散石英舟的承载尺寸大小；之后通过第一锁紧件与定位件可以固定前上连接滑动杆，以使扩散石英舟适应不同尺寸的硅片。

基本信息

专利标题：

一种扩散石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921527222.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-12

授权号：

CN210325835U

授权日：

2020-04-14

发明人：

方灵新余浩单伟何胜徐伟智

申请人：

浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司

申请人地址：

浙江省杭州市滨江区滨安路1335号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

王云晓

优先权：

CN201921527222.3

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L31/04 H01L21/673