低压扩散石英舟六轴插卸片机构
授权
摘要
本实用新型公开了低压扩散石英舟六轴插卸片机构，包括六轴机械手臂，六轴机械手臂的一端固定安装有连接架，连接架的底部固定连接有安装框架，安装框架的底部对称设置有吸盘组件，安装板的底部等距固定连接有多个真空吸盘，安装板的一侧等距固定连接有多个连接管，安装板底部的两侧均固定连接有防护板，多个真空吸盘位于两个防护板之间，安装板的顶部固定连接有固定板，固定板的顶部对称固定连接有第二连接块。本实用新型利用安装框架和两个吸盘组件的配合使用，两个吸盘组件可以各自吸附住五十片硅片，且两个吸盘组件可以在安装框架的底部进行移动和翻转，从而便于其抓取硅片和将其插在指定设备上，从而提高其实用性能。
基本信息
专利标题 ：
低压扩散石英舟六轴插卸片机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122728033.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-11-09
授权号 ：
CN216528800U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
徐雷达
申请人 ：
江苏创生源智能装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省宿迁市泗洪县经济开发区双洋西路12号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202122728033.6
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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