用于常压扩散炉管的石英舟
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于常压扩散炉管的石英舟，包括：两个石英圆盘、若干根石英舟槽棒；两个所述石英圆盘分别固设于若干根所述石英舟槽棒的两端部；所述石英舟槽棒上设有若干个槽位，所述槽位用于存放晶圆片；所述石英舟还包括至少一个石英加强筋；所述石英加强筋位于所述两个石英圆盘之间位置；所述石英加强筋的两端分别固设于两根所述石英舟槽棒上。本实用新型提供的用于常压扩散炉管的石英舟在高温下长期使用时，中部不易变形，避免了晶圆片从石英舟上掉下来，造成产品的报废。
基本信息
专利标题 ：
用于常压扩散炉管的石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020448208.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-31
授权号 ：
CN212062404U
授权日 ：
2020-12-01
发明人 ：
张国栋陈秀伟黄国荣
申请人 ：
上海先进半导体制造有限公司
申请人地址 ：
上海市徐汇区虹漕路385号
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN202020448208.0
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-12-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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