用于常压扩散炉管的石英舟组件
授权
摘要
本实用新型公开了石英舟组件技术领域的用于常压扩散炉管的石英舟组件，包括，基础组件，所述基础组件包括两组石英半圆盘，两组所述石英半圆盘之间底部和两组石英半圆盘之间的左右侧均设置有石英舟棒；防掉落收集组件，所述防掉落收集组件设置在基础组件下方，所述防掉落收集组件包括设置在基础组件下方的耐高温网。本实用新型设置有防掉落收集组件，通过石英安装杆提高该石英舟的抗变形能力，同时设置有耐高温网，在石英舟底部形成防护，当晶圆片掉落时，处于底部的耐高温网能有效的兜住掉落的晶圆片，防止晶圆片损坏，降低使用成本。
基本信息
专利标题 ：
用于常压扩散炉管的石英舟组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123209158.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-20
授权号 ：
CN216719894U
授权日 ：
2022-06-10
发明人 ：
徐坤林刘兵
申请人 ：
苏州凯联石英科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区震泽镇曹村开发区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123209158.4
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-06-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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