一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉
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摘要
本实用新型公开了一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉，涉及半导体太阳能扩散设备领域，本实用新型包括加热炉和设置在加热炉内的石英炉管，石英炉管一侧延伸出加热炉设置有炉门，所述石英炉管另一侧设置有延伸出加热炉进气口和排气口，石英炉管内设置有与排气口配合的尾气管，所述的进气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾的进气管组件，排气口处连接有防止偏磷酸沉积在石英炉管管尾及尾气管外壁的防腐蚀出气管组件；本实用新型具有结构简单，用以解决偏磷酸沉积，长期腐蚀石英炉管问题，降低了人工劳动强度。
基本信息
专利标题 ：
一种带石英炉管防腐蚀结构的扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021943070.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN213977959U
授权日 ：
2021-08-17
发明人 ：
雷小龙李宝飞胡云川何长发匡成国彭欣欣阿海克古董纪刚
申请人 ：
通威太阳能（成都）有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流区西南航空港经济开发区工业集中发展区六期内
代理机构 ：
成都弘毅天承知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓芸
优先权 ：
CN202021943070.8
主分类号 ：
C30B31/10
IPC分类号 ：
C30B31/10 H01L21/67 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/10
反应室；其所用材料的选择
法律状态
2021-08-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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