一种带防腐蚀石英管的扩散设备
授权
摘要
本实用新型提供了一种带防腐蚀石英管的扩散设备，包括机座，机座上固定有箱体，箱体内设置有扩散炉体，扩散炉体端部通过焊接的方式倾斜连接有尾气废管，且尾气废管的轴线与水平面呈负2‑6度夹角，尾气废管为乳白石英管，尾气废管内还套设有防护管，且防护管的长度与尾气废管的长度之比为4：5，防护管为普通石英管。本实用新型具有使用寿命长的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种带防腐蚀石英管的扩散设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922096303.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-28
授权号 ：
CN211079410U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
叶石标颜大安
申请人 ：
浙江艾能聚光伏科技股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海盐县澉浦镇六里集镇翠屏路北侧
代理机构 ：
杭州永航联科专利代理有限公司
代理人 ：
俞培锋
优先权 ：
CN201922096303.9
主分类号 ：
C30B31/16
IPC分类号 ：
C30B31/16 H01L31/18
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/16
气体供给或排出的装置；气流的变换
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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