适用于开管镓扩散的石英管的制造工艺
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
一种适用于开管镓扩散的石英管制造工艺，利用Si3N4膜可屏蔽镓元素的原理，在CVD炉中通入硅烷和氨气。使之发生热分解反应，在普通石英扩散管壁上生成一层Si3N4薄膜。使用该类石英管扩镓生产的半导体器件在稳定扩散参数条件下，电参数的一致性和重复性好，该类石英管的寿命比普通石英管大大延长。
基本信息
专利标题 ：
适用于开管镓扩散的石英管的制造工艺
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1032533A
申请号 ：
CN87101336.3
公开（公告）日 ：
1989-04-26
申请日 ：
1987-05-13
授权号 ：
CN1014701B
授权日 ：
1991-11-13
发明人 ：
田淑芬薛成山
申请人 ：
山东师范大学
申请人地址 ：
山东省济南市文化东路
代理机构 ：
山东省高等院校专利事务所
代理人 ：
崔日新
优先权 ：
CN87101336.3
主分类号 ：
C03C17/30
IPC分类号 ：
C03C17/30 H01L21/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C17/00
纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理
C03C17/28
用有机材料
C03C17/30
用含硅化合物
法律状态
1994-03-30 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
1992-07-08 ：
授权
1991-11-13 ：
审定
1990-01-03 ：
实质审查请求
1989-04-26 ：
公开
1988-05-25 ：
被视为撤回的申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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