卧式扩散炉的石英管

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摘要

卧式扩散炉的石英管。涉及半导体加工技术领域，尤其涉及卧式扩散炉的石英管的结构改进。提供了结构紧凑合理，提高氧化膜厚度均匀性的卧式扩散炉的石英管。包括管体，所述管体上靠近进气口处设有气体搅拌机构；所述气体搅拌机构包括风叶和与所述管体的内腔适配的导流柱；所述导流柱包括依次连通的导向部、混合仓和扩散仓；所述导向部上设有若干倾斜设置的导流孔；若干所述导流孔的进气口分别均布设置在所述导流柱的端部，所述导流孔的出气口分别与所述混合仓连通；所述混合仓位于所述导向部与扩散部之间，靠近所述导流部的中部位置；所述风叶活动设置在所述扩散仓上，位于中部位置。本实用新型具有结构紧凑合理，提高氧化膜厚度均匀性等特点。

基本信息

专利标题：

卧式扩散炉的石英管

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921651714.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-09-29

授权号：

CN210167335U

授权日：

2020-03-20

发明人：

陆益邹威赵晓非张凡文裘俊庆王毅

申请人：

扬州扬杰电子科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期

代理机构：

扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

郭翔

优先权：

CN201921651714.3

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67