进气组件和扩散设备
授权
摘要

本实用新型涉及一种进气组件和扩散设备。进气组件包括至少两个进气装置,每一个进气装置包括输送管道和调节部件。输送管道的首端位于炉体外部并与气源相连通,输送管道的末端位于炉体内的预定送气位置;调节部件构造为能够独立于该进气组件之外的进气装置直接或间接地调节输送管道内的气体的气体参数。其中,各个进气装置的输送管道的末端位置之间存在间隔。本实用新型的进气组件包括至少两个进气装置,各个进气装置通过相对于彼此独立的进气管道向炉体输送气体,且各个进气装置的进气管道在炉体内的预定送气位置不同,使得炉体内的各个位置处的气体均匀、稳定,使得生产得到的太阳能电池片具有均匀的方阻。

基本信息
专利标题 :
进气组件和扩散设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020177251.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-02-17
授权号 :
CN212713848U
授权日 :
2021-03-16
发明人 :
王秀鹏王斯海刘世强李冬梅郑桂林王亚楠
申请人 :
通威太阳能(眉山)有限公司
申请人地址 :
四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号
代理机构 :
北京市金杜律师事务所
代理人 :
刘迎春
优先权 :
CN202020177251.8
主分类号 :
C30B31/16
IPC分类号 :
C30B31/16  C30B31/18  H01L31/18  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺;其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/16
气体供给或排出的装置;气流的变换
法律状态
2021-03-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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