一种扩散石英舟

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摘要

本实用新型公开了一种扩散石英舟，其包括支撑件、卡接组件和承接件，支撑件的个数为至少两个，至少两个支撑件间隔设置，支撑件的长度方向与扩散气流的流向平行，卡接组件为多个，多个卡接组件沿支撑件的长度方向间隔设置，每个卡接组件包括两个间隔设置的卡接件，每个卡接件的两端分别连接在相邻设置的两个支撑件上，每个卡接件上均设有多个卡接槽，两个卡接件上的卡接槽一一对应设置。承接件为多个，多个承接件与多个卡接组件一一对应设置且位于卡接组件的下部，每个承接件位于同一个卡接组件内的两个卡接件之间，承接件上设有多个承接槽。该扩散石英舟能够较好地保证扩散的均匀程度，提升硅片的良品率，还能在增加承载量，提高产能。

基本信息

专利标题：

一种扩散石英舟

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921915413.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-07

授权号：

CN210607207U

授权日：

2020-05-22

发明人：

李兵沈雯邓伟伟

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区鹿山路199号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201921915413.7

主分类号：

H01L21/673

IPC分类号：

H01L21/673 H01L31/18