一种高效扩散用石英舟
授权
摘要

本实用新型公开了一种高效扩散用石英舟,包括放置板、第一侧板、第二侧板、散热槽、散热孔、插槽、左限位槽、右限位槽、加固板、太阳能电池片以及安装插片,所述放置板的左侧安装有第一侧板,所述第二侧板安装于放置板的右侧,所述散热槽等距镶嵌于放置板)的内表面,所述散热孔依次设置于散热槽的表面,所述插槽设置于各散热槽之间,所述左限位槽设置于插槽的左端,所述右限位槽设置于插槽的右端,所述加固板设置于第一侧板、第二侧板上,所述太阳能电池片通过安装插片固定于插槽上。本实用新型便于固定硅片,并且能够大量的承载太阳能电池片,各个太阳能电池片之间保持一定距离,能够有效提高太阳能电池片的扩散效率。

基本信息
专利标题 :
一种高效扩散用石英舟
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021720004.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-18
授权号 :
CN212648202U
授权日 :
2021-03-02
发明人 :
兰锋
申请人 :
浙江泓芯半导体有限公司
申请人地址 :
浙江省衢州市柯城区航埠镇通航一路3号1幢、2幢、3幢
代理机构 :
浙江永鼎律师事务所
代理人 :
陆永强
优先权 :
CN202021720004.4
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673  H01L31/18  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2021-03-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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