一种扩散硼淀积新型石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种扩散硼淀积新型石英舟,包括石英舟本体，在石英舟本体上设有一级舟槽支架，底部支架，一级石英舟槽，二级石英舟槽，一级石英舟槽与二级石英舟槽上均设有舟槽槽口，舟槽槽口的倾角为88度，当舟槽槽口的入口倾角为88度的时候，有效均衡气流，改善淀积的均匀性，并减少粘舟达到降低碎片的目的，该硼淀积的石英舟舟槽角度进行调整后，工艺气体可以将部分副产物带走，有效提高了均匀性，降低粘片的问题，大大降低了硼扩工艺的成本。
基本信息
专利标题 ：
一种扩散硼淀积新型石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921668560.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-08
授权号 ：
CN210575874U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
崔文荣
申请人 ：
江苏晟驰微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市海安经济技术开发区康华路55号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
张彩珍
优先权 ：
CN201921668560.9
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
