汽相淀积金刚石的装置
专利权的终止未缴年费专利权终止
摘要
气相淀积金刚石的装置，包括一种第一极性的电极形成元件；相反极性的电极形成元件；直流等离子体吹管，它有直流电源，用于两电极之间施加电压，使进入的气体呈热等离子体；一种将原料气体化合物通入到等离子中的输气系统；一种形成非平衡等离子体的装置，它含有冷却气供给装置，在等离子体吹管喷嘴周围设有冷却气喷嘴，使热等离子体骤冷，并形成一种至少含自由基化的产物且有高浓度自由基的活性非平衡等离子体，使等离子流气相沉积；以及基片支撑机构。
基本信息
专利标题 ：
汽相淀积金刚石的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1060316A
申请号 ：
CN91109955.7
公开（公告）日 ：
1992-04-15
申请日 ：
1988-04-02
授权号 ：
CN1029135C
授权日 ：
1995-06-28
发明人 ：
栗原和明佐佐木谦一河原田元信越野长明
申请人 ：
富士通株式会社
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人 ：
王杰
优先权 ：
CN91109955.7
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/50 C01B31/06 H01L21/205
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2006-05-31 ：
专利权的终止未缴年费专利权终止
2002-06-12 ：
其他有关事项
1995-06-28 ：
授权
1992-04-15 ：
公开
1992-03-18 ：
实质审查请求已生效的专利申请
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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