加有磁场的微波等离子体化学汽相淀积法
专利权的终止(专利权有效期届满)
摘要
本说明书叙述了一种新型的化学汽相淀积法。这里化学汽相反应的主要的激发动力不是电子回旋共振(这时的电子作为独立粒子能够运动而不相互作用)而是混合回旋共振。在这种新提出的共振中，共振空间较大，因而用此新方法可将金刚石之类的高熔点物质淀积成薄膜状。
基本信息
专利标题 ：
加有磁场的微波等离子体化学汽相淀积法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN87107779A
申请号 ：
CN87107779.5
公开（公告）日 ：
1988-05-25
申请日 ：
1987-11-09
授权号 ：
CN1017726B
授权日 ：
1992-08-05
发明人 ：
犬岛乔广濑直树山崎舜平田代卫
申请人 ：
株式会社半导体能源研究所
申请人地址 ：
日本神奈川县厚木市
代理机构 ：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人 ：
肖掬昌
优先权 ：
CN87107779.5
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44 C23C16/22
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2008-04-23 ：
专利权的终止(专利权有效期届满)
2002-03-20 ：
其他有关事项
1993-05-26 ：
授权
1992-08-05 ：
审定
1989-04-05 ：
实质审查请求
1988-05-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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