改进的电弧汽相淀积方法及设备
视为撤回的专利申请
摘要
一种在电弧汽相淀积涂层过程中使阴极亮点维持在露出的所需阴极汽化表面上的改进方法及设备。在淀积室中，相对于阴极对第一阳极进行构制设置，以维持阳、阴极间的电弧。相对偏压网络维持室内第一阳极与其它导电表面或室内壁间的电位差，使离开阴极的电子被拉向第一阳极比被拉向其它表面更多。阳极在室内的方位使电子被拉向阳极，以使阴极亮点保持在所需阴极汽化表面上，维持了低电弧电流水平下电弧的稳定性。
基本信息
专利标题 ：
改进的电弧汽相淀积方法及设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN86104365A
申请号 ：
CN86104365.0
公开（公告）日 ：
1987-05-20
申请日 ：
1986-06-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
克拉克·伯格曼
申请人 ：
安达尔公司
申请人地址 ：
美国纽约州
代理机构 ：
中国国际贸易促进委员会专利代理部
代理人 ：
郁玉成
优先权 ：
CN86104365.0
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
1991-08-14 ：
视为撤回的专利申请
1989-07-19 ：
实质审查请求
1987-05-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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