一种用于扩散炉的石英舟承载装置
授权
摘要
本实用新型提供一种用于扩散炉的石英舟承载装置，包括夹持段、支撑杆和连接杆，夹持段的长度方向的一端设置开口，另一端设置封闭板；两根支撑杆分别与封闭板连接，两根支撑杆平行于夹持段的长度方向且两根支撑杆之间设置间隔；本实用新型的石英舟承载装置结构简单，结构强度高，使用方便；两根支撑杆之间设置连接杆、两根支撑杆内部设置耐高温不锈钢支撑管，能够增加支撑杆的结构强度；夹持段内部设置加强筋，能够增加夹持段的结构强度，设置加强板，能够增加夹持段与支撑杆连接处的结构强度，从而提高石英舟承载装置的整体结构强度，避免扩散过程中变形或断裂带来的撞舟、砸坏石英管及石英舟的风险。
基本信息
专利标题 ：
一种用于扩散炉的石英舟承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022301329.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-16
授权号 ：
CN213150753U
授权日 ：
2021-05-07
发明人 ：
李铁李杨
申请人 ：
江苏沃宏装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市惠山区洛社镇秦巷村
代理机构 ：
南京科知维创知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
许益民
优先权 ：
CN202022301329.5
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/673
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-05-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN213150753U.PDF
PDF下载
