石英舟、石英舟组件及扩散炉
授权
摘要
本申请提供一种石英舟、石英舟组件及扩散炉，涉及太阳能电池加工领域。扩散炉包括扩散炉腔、装载于扩散炉腔内的石英舟或石英舟组件，石英舟用于装载硅片，安装通道的轴线、装载后的硅片的排列方式分别与气流扩散方向平行，通过上述设置，横向气流流通性良好，极大的降低了硅片内部的方阻差别，提高了整体电池片生产的均匀性以及电池片的电性能，同时在扩散炉的内径为350mm时可兼容边长为210mm硅片，提高了扩散炉本体的利用效率。
基本信息
专利标题 ：
石英舟、石英舟组件及扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020997489.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-03
授权号 ：
CN212610988U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
谢毅周公庆马志强王璞陈坤
申请人 ：
通威太阳能（眉山）有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市东坡区修文镇进修路8号附1号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
唐菲
优先权 ：
CN202020997489.5
主分类号 ：
C30B31/14
IPC分类号 ：
C30B31/14 C30B29/06
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B31/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置
C30B31/06
同气态扩散材料接触的
C30B31/14
衬底夹持器或基座
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212610988U.PDF
PDF下载
