冷却装置、冷却系统及扩散炉管装置
实质审查的生效
摘要
本公开提出一种冷却装置、冷却系统及扩散炉管装置，冷却装置包括进气端以及出气端；进气端用于连接气源；出气端包括与晶舟分区对应并间隔设置的冷却盘管，冷却盘管设置有出气口，用于向晶舟分区吹送冷却气体。通过上述设计，本公开提出的冷却装置能够提升晶圆的冷却效率，并能够使晶圆的降温更加均匀。
基本信息
专利标题 ：
冷却装置、冷却系统及扩散炉管装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114383426A
申请号 ：
CN202210056133.5
公开（公告）日 ：
2022-04-22
申请日 ：
2022-01-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
农兴顺
申请人 ：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
代理机构 ：
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 ：
孙宝海
优先权 ：
CN202210056133.5
主分类号 ：
F27D9/00
IPC分类号 ：
F27D9/00 H01L21/22 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D9/00
炉的冷却或炉内炉料的冷却
法律状态
2022-05-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F27D 9/00
申请日 : 20220118
申请日 : 20220118
2022-04-22 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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