低压扩散中空尾排装置

授权

摘要

本实用新型提供了一种低压扩散中空尾排装置，包括管路连通在尾管后的废液收集瓶、曲径冷却瓶、高精过滤器、真空泵和排风口，高精过滤器与真空泵的连接管路之间还设有压力监控模块，尾管外周面还外包有中空石英管，中空石英管外部密封并具有气嘴，气嘴依次管路连通有冷却装置和气动阀，气动阀的进气端与冷却装置管路连通、出气端则与高精过滤器与压力监控模块之间的管路连通；气动阀电路连通有电磁阀和PLC控制器，并由PLC控制器和电磁阀控制开关。本实用新型结构设计合理，在尾管与中空石英管之间制造了中空隔热层，减少尾管与环境之间的热传导，减少偏磷酸淤积在尾管，提高工艺稳定性，维护量小，生产成本低。

基本信息

专利标题：

低压扩散中空尾排装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920541391.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-19

授权号：

CN209461481U

授权日：

2019-10-01

发明人：

吴俊吴家宏张凯胜姚伟忠孙铁囤

申请人：

常州亿晶光电科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号

代理机构：

常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

朱丽莎

优先权：

CN201920541391.6

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/67