本实用新型公开了一种高产能1600片六管低压扩散设备，包括第一主机和送料固定框，所述第一主机的右侧与送料固定框的左侧固定连接，本实用新型涉及低压扩散炉技术领域。该高产能1600片六管低压扩散设备，通过第一主机的左侧固定连接有第一气源柜，第一气源柜与第一主机的背面分别固定连接有第二气源柜和第二主机，并且第二气源柜的右侧与第二主机的左侧固定连接，第一主机的右侧设置有低压密封门，并且低压密封门的内部固定连接有工艺管，送料固定框内壁的正面与背面之间固定连接有固定架，固定架的顶部滑动连接有石英舟，缩减低压扩散设备占用面积的同时，有效地提高设备的产能，从而使得单位面积的产能得到较大程度的提高。