一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备

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摘要

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备。包括扩散炉、源气罐、真空泵和尾气处理装置，扩散炉包括顶部设置炉门的立式炉体和设置于立式炉体的加热器、石英舟以及升降组件；升降组件包括电机和与电机的输出轴连接、且设有外螺纹的驱动轴，石英舟包括环形的底座以及设置于底座的筒架，底座内环设有内螺纹并与驱动轴螺纹连接、外环通过凸起体滑动设置于立式炉体内壁轴向开设的滑槽；筒架的内环和外环均设有用于承载硅片的承载座；筒架、底座以及承载座均空心、并相互连通，底座设有可供源气罐的输气管插入的进气口，承载座底面设有出气孔。该设备具有低压、均匀、高效的扩散效果。

基本信息

专利标题：

一种用于制备薄层多晶硅电池片的低压扩散设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920529410.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-18

授权号：

CN209561444U

授权日：

2019-10-29

发明人：

赵庆国姚春梅陈伟林江泓张炎陆波

申请人：

浙江贝盛光伏股份有限公司

申请人地址：

浙江省湖州市吴兴区织里镇珍贝路800号

代理机构：

浙江千克知识产权代理有限公司

代理人：

裴金华

优先权：

CN201920529410.3

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18