本实用新型的用于多晶硅片的抛光装置，属于抛光装置领域，包括框架、固定在框架顶部的抛光组件、固定于框架底部的抛光盘、以及固定在框架顶部的喷洒组件；喷洒组件位于抛光组件的一侧，抛光盘位于抛光组件的下方，且抛光盘与框架的底部可转动连接；抛光组件包括固定在框架顶部内侧的液压缸、设于液压缸内的推杆、位于推杆一侧的活塞、第一驱动电机、以及抛光头；推杆的一端与活塞固定连接；活塞远离的推杆的一端固定有固定块，第一驱动电机固定在固定块上，第一驱动电机的驱动轴与抛光头连接。通过液压缸、推杆、活塞、第一驱动电机和抛光头的配合以及抛光盘的旋转，实现对待抛光多晶硅片的抛光，可以提高抛光的稳定性，进而可以提高抛光的精度。