本实用新型涉及一种抛光液循环冷却供液桶，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶本体，所述供液桶本体的桶壁是由内壁和外壁构成的双层结构，双层结构的内壁形成储液腔，双层结构的内壁与外壁之间形成循环冷却腔，其特征是：所述循环冷却腔通过隔板分为两个腔，用于进液的进液腔和用于出液的出液腔，在所述进液腔的内壁上开设有一个或多个入液孔，在所述出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔。本实用新型结构将供液桶分为储液腔、进液腔和出液腔，利用自身储蓄的抛光液对待使用的抛光液进行降温后循环利用，结构简单、实用性强。