微镜头
授权
摘要
本实用新型公开了一种微镜头，包括：芯片衬底；设置在所述芯片上侧的感光器件和电路器件；设置在所述感光器件和电路器件上侧的连接电路；覆盖在所述连接电路上表面且具有第一预定厚度的沉积平坦化层；设置在所述沉积平坦化层的上侧且具有第二预定厚度的沉积牺牲层；位于所述沉积牺牲层中的刻蚀区，所述刻蚀区在沿着高度方向上与所述感光器件相对应，所述刻蚀区包括与所述感光器件的个数相匹配的预定图形，相邻两个所述预定图形之间间隔预定刻蚀间距；设置在所述沉积牺牲层的上侧且具有第三预定厚度的沉积钝化层，所述沉积钝化层中与所述刻蚀区相对应的区域具有微透镜。本实用新型制备的微镜头能较佳地满足生物识别领域的特定需求。
基本信息
专利标题 ：
微镜头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920787984.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-29
授权号 ：
CN209747515U
授权日 ：
2019-12-06
发明人 ：
焉逢运程泰毅郝志
申请人 ：
上海思立微电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区盛夏路560号2幢1003室
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
陈烨
优先权 ：
CN201920787984.0
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146
法律状态
2019-12-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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