本实用新型公开了半导体检测技术领域的微压力传感器检漏用漏气报警装置，包括控制箱、气源、充气阀、压力表、平衡阀和箱体，所述箱体的内部设有标准通道和测试通道，所述箱盖上设有若干与标准通道和测试通道相连通的标准接口和测试接口，且标准接口和测试接口之间通过管路连接差压传感器，所述箱体的一端安装有温度传感器，所述标准通道和测试通道的内壁安装有加热器，箱体的另一端安装压力传感器，且箱体另一端设有标准通道和测试通道相连通的泄压口和增压口，泄压口和增压口上分别安装泄压阀和增压阀，避免非泄露引起的差压，大大提高了检漏的准确度，充气时间和稳定时间短，检漏速度提高76%以上，采用模块化设计，连接安全可靠。