多元示漏气体检漏系统及其检测方法
公开
摘要

本发明公开了一种多元示漏气体检漏系统,入口管通过第3阀门连接着动态检漏室的第一进口,其第一出口管通过第4阀门连接着第一负压标准漏孔的进口,动态检漏室的第二出口管通过第6阀门连接着质谱室的第一进口,质谱室的第一出口管通过第7阀门连接着四极质谱计,质谱室第二出口管连接着第9阀门、分子泵和前级泵,分子泵与前级泵之间的连接管上设置着支路,支路通过第5阀门连接着动态检漏室的第三出口,质谱室的第三出口管连接着第8阀门和吸附泵。本发明不仅实现被检件氦示漏气体微量泄漏的检测,而且实现被检件实现He、Kr、Ar等多种示漏气体的微量泄漏检测,真空系统残余气体成分的在线监测,示漏气体检漏效率高,检漏结果准确、可靠。

基本信息
专利标题 :
多元示漏气体检漏系统及其检测方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114623983A
申请号 :
CN202210121199.8
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2022-02-09
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
白国云廖旭东潘荣敏陈涛陶宏博胡新东常君兰李艳霞
申请人 :
中国人民解放军63653部队
申请人地址 :
新疆维吾尔自治区乌鲁木齐市21信箱E18分箱
代理机构 :
乌鲁木齐新科联知识产权代理有限公司
代理人 :
白烨
优先权 :
CN202210121199.8
主分类号 :
G01M3/20
IPC分类号 :
G01M3/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试;其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M3/00
结构部件的流体密封性的测试
G01M3/02
应用流体或真空
G01M3/04
通过在漏泄点检测流体的出现
G01M3/20
应用特殊示踪物质,例如染料、荧光材料、放射性材料
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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