真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀
授权
摘要
本实用新型涉及一种真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀，其包括方形管与栅格板，栅格板设置有若干，若干栅格板并排设置在方形管中，其特征在于，若干栅格板分别定义为第一栅格板与第二栅格板，还包括：驱动腔、第一驱动组件与第二驱动组件，驱动腔设置在方形管一端，第一栅格板与第二栅格板的同一端进入驱动腔中并与驱动腔侧壁转动连接，第一驱动组件与第二驱动组件均设置在驱动腔中，第一驱动组件驱动第一栅格板转动，第二驱动组件驱动第二栅格板向第一栅格板相反的方向转动。本实用新型具有引导气流通过节流阀、提升气流通过效率、提升镀膜部气流均匀性的效果。
基本信息
专利标题 ：
真空镀膜机抽气系统上具有导流作用的节流阀
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920799445.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-30
授权号 ：
CN210237766U
授权日 ：
2020-04-03
发明人 ：
张德军
申请人 ：
深圳市创基真空科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区沙井街道沙头工业区民福路8号之2栋三层;在松岗街道潭头第三工业区C7栋地址设有经营场所从事生产经营活动
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920799445.9
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2020-04-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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