用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置，包括包括密闭的反应腔室（1），绝热壁（2），反应腔室密封法兰前盖（3），反应腔室密封法兰后盖（4），热丝支架（5），样品支架（6），反应气瓶（13），电源（12），真空泵（11），冷却循环水机（14），热丝（10），隔热前置挡板（9），隔热后置挡板（7）和电阻丝（8）。由于绝热壁（2）与反应腔室（1）直接安置了用于加热的电阻丝（8），可以实现整个腔室的温度均匀的维持在700℃以上。与现有的技术相比，本实用新型能够实现大面积的金刚石薄膜的生产，提升了大面积的金刚石薄膜的质量。
基本信息
专利标题 ：
用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920817137.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-03
授权号 ：
CN210134162U
授权日 ：
2020-03-10
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
杭州睿清环保科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市杭州经济技术开发区下沙街道元成路211号2幢4楼412室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920817137.4
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/448
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2020-03-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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