一种热丝CVD金刚石涂层设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种热丝CVD金刚石涂层设备，包括镀膜箱体，所述镀膜箱体的上部设置有至少一个进气入口，所述镀膜箱体的左侧壁上部设置有抽真空装置，所述抽真空装置通过抽气管与所述镀膜箱体的内部连接，所述镀膜箱体的中部设置有上接线环和下接线环，所述上接线环和下接线环之间均匀连接有热丝，通过抽真空装置的抽气管将镀膜箱体内部的气体抽空，调节流量控制阀通过进气入口通入反应气体，并打开电源开始碳化热丝，热丝碳化完成后即可对工作平台上的工件进行涂层；在完成工件表面的金刚石沉积生长后，即可开始降温过程，可以采用水冷和风冷两种途径进行降温，实用性强，且可以提高降温效率，有利于提高工件的涂层效果。
基本信息
专利标题 ：
一种热丝CVD金刚石涂层设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921182481.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-22
授权号 ：
CN210420151U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
刘毅
申请人 ：
东莞市大晋涂层科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市大岭山镇金桔村科技工业园2号厂区内A1栋1楼106号
代理机构 ：
深圳市千纳专利代理有限公司
代理人 ：
刘晓敏
优先权 ：
CN201921182481.7
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/46
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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