一种热丝加热装置及热丝化学气相沉积设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种热丝加热装置及热丝化学气相沉积设备，热丝加热装置包括工件安装位、第一装夹装置、第二装夹装置和热丝；热丝包括依次分布的第一热丝端部、热丝中部和第二热丝端部；第一热丝端部装夹于第一装夹装置上，第二热丝端部装夹于第二装夹装置上。将热丝的两端分别装夹在第一装夹装置和第二装夹装置上，热丝的热丝中部设置于第一装夹装置和第二装夹装置之间，沿水平分布，为工件提供主要的热量；而热丝的第一热丝端部和第二热丝端部装夹于对应的装夹装置上，设置于热丝中部与工件安装位之间，两者的延伸方向与水平方向不平行，即在竖直方向上，热丝端部更靠近工件，并能从侧面为工件提供辅助的热量，保证产品的镀膜质量的一致性。
基本信息
专利标题 ：
一种热丝加热装置及热丝化学气相沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122552651.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-22
授权号 ：
CN216663228U
授权日 ：
2022-06-03
发明人 ：
王俊锋袁明
申请人 ：
广东鼎泰机器人科技有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼101室
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄水娜
优先权 ：
CN202122552651.X
主分类号 ：
C23C16/27
IPC分类号 ：
C23C16/27 C23C16/46
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
C23C16/27
仅沉积金刚石
法律状态
2022-06-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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