一种脉冲空心阴极辅助热丝化学气相沉积装置和方法

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摘要

本发明属于薄膜材料制备领域，具体涉及一种脉冲空心阴极辅助热丝化学气相沉积装置和方法。包括双极性脉冲电源、水冷样品台、热丝、热丝电源、进气口、排气口、冷却水口，两个样品台分别位于热丝上下两侧，将双极性脉冲电源的两极分别与两个样品台相连接，通过控制双极性脉冲电源的占空比、正反向电压大小及比例来调谐电场，达到稳定的空心阴极放电状态，最终实现金刚石薄膜的双向沉积。本发明利用双极性脉冲电源供电的空心阴极放电效应和单丝双边的空间设计，解决了传统热丝化学气相沉积过程中气体离化率低下、镀膜空间浪费的问题，能够实现金刚石的高效率、高质量、高速率双向热丝化学气相沉积。

基本信息

专利标题：

一种脉冲空心阴极辅助热丝化学气相沉积装置和方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN113604793A

申请号：

CN202110790763.0

公开（公告）日：

2021-11-05

申请日：

2021-07-13

授权号：

CN113604793B

授权日：

2022-04-22

发明人：

李成明夏天郑宇亭邵思武陈良贤刘金龙魏俊俊

申请人：

北京科技大学

申请人地址：

北京市海淀区学院路30号

代理机构：

北京市广友专利事务所有限责任公司

代理人：

张仲波

优先权：

CN202110790763.0

主分类号：

C23C16/27

IPC分类号：

C23C16/27 C23C16/515